電子級氫氟酸的質量標準
因各微電子生產企業對電子級氫氟酸要求的標準不同，可將其劃分為四個檔次：
1、低檔產品，用于>1.2μmIC工藝技術的制作；
2、中低檔產品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術的制作；
3、中高dang產品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術的制作；
4、高dang產品（UPss），適用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工藝技術的制作。
1、低檔產品，用于>1.2μmIC工藝技術的制作；
2、中低檔產品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術的制作；
3、中高dang產品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術的制作；
4、高dang產品（UPss），適用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工藝技術的制作。